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SiO/TiN 박막 제작과 유전율 특성
SiO/TiN 박막 제작과 유전율 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사색인
- ISSN
- 1225-7508
- 청구기호
- 서명/저자
- SiO/TiN 박막 제작과 유전율 특성 / 김창석 ; 이우선 ; 김병인
- 발행사항
- 형태사항
- pp. 143-153 ; 26 cm.
- 키워드
- 기타저자
- 기타저자
- 기타저자
- 기본자료저록
- 동력자원연구소지/조선대학교 동력자원연구소. 제18권 1호
MARC
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