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TiN이 증착된 SiO/TiN 박막의 전압-전류 특성
TiN이 증착된 SiO/TiN 박막의 전압-전류 특성
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- 자료유형
- 기사색인
- ISSN
- 1226-7945
- 청구기호
- 서명/저자
- TiN이 증착된 SiO/TiN 박막의 전압-전류 특성 / 송찬일 등저
- 발행사항
- 형태사항
- pp. 145-150 ; 27 cm.
- 키워드
- 기타저자
- 기타저자
- 기타저자
- 기타저자
- 기본자료저록
- 전기전자재료학회논문지/한국전기전자재료학회. 제12권 제2호
MARC
008990520s1999 ulka kor■001MOKWON00224752
■00520021016161341
■007ta
■008990520s1999 ulka kor
■022 ▼a1226-7945
■040 ▼a225006▼c225006▼d225006
■090 ▼a620.11297▼b한17
■245 ▼aTiN이 증착된 SiO/TiN 박막의 전압-전류 특성▼d송찬일 등저
■260 ▼a서울▼b한국전기전자재료학회▼c1999.
■300 ▼app. 145-150▼c27 cm.
■653 ▼aTiN▼a증착▼aSiO▼aTiN▼a박막▼a전압▼a전류
■700 ▼a송찬일
■700 ▼a김창석
■700 ▼a정천옥
■700 ▼a김병인
■773 ▼t전기전자재료학회논문지/한국전기전자재료학회▼g제12권 제2호
