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고주파 마그네트론 스퍼터 기법을 이용하여 제조한 회토류 이온 도핑된 nc-Si 박막의 나노구조 및 광학적 특성
고주파 마그네트론 스퍼터 기법을 이용하여 제조한 회토류 이온 도핑된 nc-Si 박막의 나노구조 및 광학적 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사색인
- 청구기호
- 저자명
- 서명/저자
- 고주파 마그네트론 스퍼터 기법을 이용하여 제조한 회토류 이온 도핑된 nc-Si 박막의 나노구조 및 광학적 특성 / 박명범 ; 한규호 ; 조남희 ; 남궁찬
- 발행사항
- 형태사항
- 462-493 p.
- 일반주제명
- 기타저자
- 기타저자
- 기타저자
- 기본자료저록
- 논문집/육군 3사관 학교. 제58집
MARC
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