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모세관 리소그래피를 이용한 100nm급 나노구조 공정개발
모세관 리소그래피를 이용한 100nm급 나노구조 공정개발
상세정보
- 자료유형
- 기사색인
- 청구기호
- 서명/저자
- 모세관 리소그래피를 이용한 100nm급 나노구조 공정개발 / 서갑양 ; 김재관박지원
- 발행사항
- 형태사항
- pp. 124-127
- 키워드
- 기타저자
- 기타저자
- 기타저자
- 기본자료저록
- 공학연구소보고/서울대학교 공학연구소. 제25
MARC
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