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고주파 마그네트론 스퍼터 기법을 이용하여 제조한 회토류 이온 도핑된 nc-Si 박막의 나노구조 및 광학적 특성
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| 청구기호 | TU-대학논문 | 저자 | 박명범 | 출판사 | 육군 3사관 학교 | 출판년 | 2004 |
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